什么是石墨舟裝載室？
作者：http://www.bio-etbe.com
發(fā)布時(shí)間：2023-10-09 15:39:30
石墨舟裝載室:用于太陽(yáng)能工作和PECVD運(yùn)載車輛支撐，裝載硅片，制備中高效過(guò)濾器，保證吹出的空氣滿足凈化要求。
石墨舟作業(yè)原理: 空氣經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾后，均勻壓入阻尼層，使?jié)崈魵饬鞔怪?、單向送入?fù)載作業(yè)區(qū)，然后保證作業(yè)區(qū)的潔凈度滿足工藝要求。操作人員在清潔的環(huán)境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點(diǎn):
1、能精確地使石墨舟軸承板小車定位;
2、全不銹鋼制作，整機(jī)結(jié)構(gòu)健壯牢靠;
3、選用GK系列高效空氣過(guò)濾器3臺(tái);
4. PECVD運(yùn)載車輛內(nèi)部可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
5、凈化風(fēng)機(jī)的噪聲小于50dB.
6、保證作業(yè)區(qū)域的潔凈度達(dá)到工藝要求100級(jí)。